Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «ВЛИЯНИЕ СВЧ ПЛАЗМЕННОЙ МИКРООБРАБОТКИ В УСЛОВИЯХ СЛАБОЙ АДСОРБЦИИ НА НАНОМОРФОЛОГИЮ ПОВЕРХНОСТИ КРИСТАЛЛОВ КРЕМНИЯ (100), "Микроэлектроника"»

Авторы:
  • Шаныгин В.Я.1
  • Яфаров Р.К.2
стр. 341-
Платно
1 Саратовский филиал Института радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова Российской АН, 2 Саратовский филиал Института радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова Российской АН
  • В выпуске: №5, 2013, Том 42
  • В журнале: Микроэлектроника
  • Издательство: ФГУП «Издательство «Наука»
  • Рубрика ГРНТИ: Информатика. Информационные и вычислительные системы
  • Год выхода: 2013
Аннотация:
Исследованы закономерности влияния режимов высокоионизованной плазмы электронного циклотронного резонанса (<b>ЭЦР</b>) СВЧ газового разряда низкого давления на наноморфологию поверхности монокристаллов кремния кристаллографической ориентации (100) с естественным оксидным покрытием. Рассмотрены основные характеристические параметры наноморфологии поверхности и модельные механизмы процессов, обеспечивающих ее модификацию в результате низкоэнергетичной СВЧ плазменной обработки в условиях слабой адсорбции с использованием фторсодержащего химически активного газа.

Архивные статьи (2015 год и ранее) доступны для ознакомления бесплатно, для скачивания их необходимо приобрести. Для просмотра материалов необходимо зарегистрироваться и авторизоваться на сайте.

Чтобы приобрести доступ к материалу для юридического лица, пожалуйста, свяжитесь с администрацией портала с помощью формы обратной связи либо по электронному адресу libnauka@naukaran.com.  

Действия с материалами доступны только авторизованным пользователям.