Войти в личный кабинет
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти в личный кабинет
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Журнал «Микроэлектроника»

  • ISSN: 0544-1269
  • Рубрика: Информатика. Информационные и вычислительные системы
  • Подписной индекс: 70571
  • Импакт-фактор (РИНЦ): 0,771
  • Главный редактор: Орликовский Александр Александрович
  • SDI: 007.001.0544-1269
  • Основан в: 1972 году
  • Периодичность: 6
  • Выпусков: 26
  • Статей: 211

Основан в 1972 г. В журнале публикуются статьи, посвященные технологическим, физическим и схемотехническим аспектам микро- и наноэлектроники. Особое внимание уделяется новым тенденциям в литографии, травлению, легированию, осаждению и планаризации на субмикронном и нанометровом уровнях, плазменным технологиям, молекулярно-пучковой эпитаксии и сухому травлению, а также методам исследования и контроля поверхностей и многослойных структур. Обсуждаются вопросы приборно-технологического моделирования и диагностики технологических процессов в реальном времени. Публикуются статьи о полупроводниковых приборах на базе новых физических явлений, таких как квантовые размерные эффекты и сверхпроводимость.