Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «ВОЗМОЖНОСТИ ТОЛСТЫХ ПЛЕНОК МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ В СОЗДАНИИ ЭЛЕМЕНТНОЙ БАЗЫ РАДИОЭЛЕКТРОННЫХ СИСТЕМ (ОБЗОР), "Микроэлектроника"»

Авторы:
  • Подвигалкин В.Я.1
стр. 348-
Платно
1 Саратовский филиал института радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова Российской АН
  • В выпуске: №5, 2013, Том 42
  • В журнале: Микроэлектроника
  • Издательство: ФГУП «Издательство «Наука»
  • Рубрика ГРНТИ: Информатика. Информационные и вычислительные системы
  • Год выхода: 2013
Аннотация:
Рассмотрены конструктивно-технологические аспекты толстопленочной технологии, параметры и свойства материалов, характеристики оборудования. Приведен технологический маршрут изготовления микросхем микросборок для РЭА различного назначения. Показано, что толстые пленки микроэлектроники открывают реальные возможности для развития миниатюризации элементной базы вакуумных СВЧ-систем, а также получения эффективных солнечных батарей.

Архивные статьи (2015 год и ранее) доступны для ознакомления бесплатно, для скачивания их необходимо приобрести. Для просмотра материалов необходимо зарегистрироваться и авторизоваться на сайте.

Чтобы приобрести доступ к материалу для юридического лица, пожалуйста, свяжитесь с администрацией портала с помощью формы обратной связи либо по электронному адресу libnauka@naukaran.com.  

Действия с материалами доступны только авторизованным пользователям.  

 

* - цена актуальна только для физических лиц
В т.ч. НДС 20%