Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «ПАРАМЕТРЫ ПЛАЗМЫ И МЕХАНИЗМЫ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОГО ТРАВЛЕНИЯ GaAs В СМЕСЯХ HCl С АРГОНОМ И ХЛОРОМ, "Микроэлектроника"»

Авторы:
  • Дунаев А.В.1
  • Пивоваренок С.А.2
  • Ефремов А.М.3
  • Светцов В.И.4
  • Капинос С.П.5
  • Юдина А.В.6
стр. 271-
Платно
1 Ивановский государственный химико-технологический университет, 2 Ивановский государственный химико-технологический университет, 3 Ивановский государственный химико-технологический университет, 4 Ивановский государственный химико-технологический университет, 5 Ивановский государственный химико-технологический университет, 6 Ивановский государственный химико-технологический университет
  • В выпуске: №4, 2013, Том 42
  • В журнале: Микроэлектроника
  • Издательство: ФГУП «Издательство «Наука»
  • Рубрика ГРНТИ: Информатика. Информационные и вычислительные системы
  • Год выхода: 2013
Аннотация:
Проведено исследование параметров плазмы и механизмов плазмохимического травления GaAs в смесях HCl?Ar и HCl<img src="/ItemImages/1121650/19051616/FO_1_1.gif" align=absmiddle border=0> Cl<sub>2</sub> в условиях тлеющего разряда постоянного тока. При математическом моделировании плазмы установлено, что разбавление HCl аргоном или хлором приводит к противоположным изменениям плотностей потоков ионов и атомов хлора. Показано, что изменение скорости травления GaAs в смеси HCl?Ar соответствует изменению плотности потока атомов хлора на поверхность. Предположено, что немонотонная зависимость скорости травления от состава смеси HCl<img src="/ItemImages/1121650/19051616/FO_2_1.gif" align=absmiddle border=0> Cl<sub>2</sub> обусловлена сменой режима (лимитирующей стадии) травления при изменении степени заполнения обрабатываемой поверхности продуктами взаимодействия.

Архивные статьи (2015 год и ранее) доступны для ознакомления бесплатно, для скачивания их необходимо приобрести. Для просмотра материалов необходимо зарегистрироваться и авторизоваться на сайте.

Чтобы приобрести доступ к материалу для юридического лица, пожалуйста, свяжитесь с администрацией портала с помощью формы обратной связи либо по электронному адресу libnauka@naukaran.com.  

Действия с материалами доступны только авторизованным пользователям.