Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «ВИРТУАЛЬНЫЙ РАСТРОВЫЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ МИКРОСКОП. 2. ПРИНЦИПЫ ПОСТРОЕНИЯ ПРИБОРА, "Микроэлектроника"»

Авторы:
  • Новиков Ю.А.1
стр. 262-
Платно
1 Институт общей физики им. А.М. Прохорова РАН, Москва, Россия
  • В выпуске: №4, 2013, Том 42
  • В журнале: Микроэлектроника
  • Издательство: ФГУП «Издательство «Наука»
  • Рубрика ГРНТИ: Информатика. Информационные и вычислительные системы
  • Год выхода: 2013
Аннотация:
Рассмотрены принципы построения виртуального растрового электронного микроскопа. Показано, что виртуальный микроскоп нельзя создать на основе имитатора работы реального растрового электронного микроскопа. Сделан вывод о необходимости построения виртуального растрового электронного микроскопа на основе симулятора информации, аналогичной информации, получаемой на реальном микроскопе. Проанализированы возможности уменьшения времени генерации изображений микро- и наноструктур до значений, сопоставимых со временем получения изображений на реальных растровых электронных микроскопах.

Архивные статьи (2015 год и ранее) доступны для ознакомления бесплатно, для скачивания их необходимо приобрести. Для просмотра материалов необходимо зарегистрироваться и авторизоваться на сайте.

Чтобы приобрести доступ к материалу для юридического лица, пожалуйста, свяжитесь с администрацией портала с помощью формы обратной связи либо по электронному адресу libnauka@naukaran.com.  

Действия с материалами доступны только авторизованным пользователям.