Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «MОДЕЛИРОВАНИЕ ПРОЦЕССОВ ОСАЖДЕНИЯ И СИНТЕЗ ПЛЕНОК АМОРФНОГО ГИДРОГЕНЕЗИРОВАННОГО УГЛЕРОДА, "Микроэлектроника"»

Авторы:
  • Тарала В.А.1
стр. 290-
Платно
1 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования “Северо-Кавказский федеральный университет”, Ставрополь
  • В выпуске: №4, 2013, Том 42
  • В журнале: Микроэлектроника
  • Издательство: ФГУП «Издательство «Наука»
  • Рубрика ГРНТИ: Информатика. Информационные и вычислительные системы
  • Год выхода: 2013
Аннотация:
Проводимые исследования посвящены оценке влияния условий синтеза на особенности процессов осаждения аморфного гидрогенезированного углерода (а-С:Н). На основании полученных (в результате моделирования) выражений дается объяснение характера влияния парциальных давлений водорода и мощности ВЧ-излучения на скорость осаждения, состав и структуру а-С:Н пленок. Результатом работы является развитие модели зарождения и роста аморфных и кристаллических алмазоподобных материалов [1, 2]. Как ожидается, разрабатываемая модель должна облегчить процедуру поиска оптимальных режимов синтеза материалов с заданным составом, структурой и свойствами.

Архивные статьи (2015 год и ранее) доступны для ознакомления бесплатно, для скачивания их необходимо приобрести. Для просмотра материалов необходимо зарегистрироваться и авторизоваться на сайте.

Чтобы приобрести доступ к материалу для юридического лица, пожалуйста, свяжитесь с администрацией портала с помощью формы обратной связи либо по электронному адресу libnauka@naukaran.com.  

Действия с материалами доступны только авторизованным пользователям.