Статья «МЕХАНИЗМ ФОРМИРОВАНИЯ ВОЛНОВОГО НАНОРЕЛЬЕФА ПРИ ЭРОЗИИ ПОВЕРХНОСТИ ИОННОЙ БОМБАРДИРОВКОЙ В РАМКАХ МОДЕЛИ БРЕДЛИ-ХАРПЕРА, "Микроэлектроника"»

Исследованы механизмы формирования волнового нанорельефа в рамках модели Бредли-Харпера при эрозии поверхности ионной бомбардировкой. Показано, что такой рельеф может появиться в результате ионной бомбардировки при потере устойчивости плоского профиля, которая возникает при малом значении “коэффициента диффузии” или большой интенсивности потока ионов. Если при этом выполнен ряд дополнительных условий, то от состояния равновесия бифурцирует семейство пространственно неоднородных решений, описывающих диссипативные структуры типа периодических бегущих волн. Для данной задачи получены условия существования диссипативных структур, которым соответствуют экспериментально наблюдаемые микро- и нановолны.