Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «ФОТОВОЛЬТАИЧЕСКИЙ ЭФФЕКТ В СТРУКТУРЕ НА ОСНОВЕ АМОРФНОГО И НАНОПОРИСТОГО КРЕМНИЯ, СФОРМИРОВАННОЙ МЕТОДОМ ПЛАЗМЕННО-ИММЕРСИОННОЙ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ, "Микроэлектроника"»

Авторы:
  • Мяконьких А.В.1
  • Рогожин А.Е.2
  • Руденко К.В.3
  • Лукичев В.Ф.4
стр. 306-
Платно
1 Физико-технологический институт РАН, Москва, 2 Физико-технологический институт Российской АН, Москва, Нахимовский пр-т, 34, 3 Физико-технологический институт РАН, Москва, 4 Физико-технологический институт Российской АН, Москва, Нахимовский пр-т, 34
  • В выпуске: №4, 2013, Том 42
  • В журнале: Микроэлектроника
  • Издательство: ФГУП «Издательство «Наука»
  • Рубрика ГРНТИ: Информатика. Информационные и вычислительные системы
  • Год выхода: 2013
Аннотация:
Предложена и изготовлена методом плазменно-иммерсионной ионной имплантации <i>p</i>?<i>i</i>?<i>n</i>-структура, обладающая фотовольтаическими свойствами. Имплантация ионов гелия в диапазоне энергий 1?5 кэВ с последующим отжигом создает на поверхности кремниевой подложки область нанопористого кремния глубиной порядка 20?80 нм. Нанокристаллическая структура этого слоя определяет высокое поглощение света в нем и изменение ширины запрещенной зоны, что приводит к образованию гетероперехода. Верхний слой модифицированной области дополнительно легировался бором, для создания <i>р</i>-области. Полученная структура продемонстрировала фотовольтаический эффект (0.15 В, 6.4 мА/см<sup>2</sup>) при светом эквивалентным по спектру и интенсивности солнечному.

Архивные статьи (2015 год и ранее) доступны для ознакомления бесплатно, для скачивания их необходимо приобрести. Для просмотра материалов необходимо зарегистрироваться и авторизоваться на сайте.

Чтобы приобрести доступ к материалу для юридического лица, пожалуйста, свяжитесь с администрацией портала с помощью формы обратной связи либо по электронному адресу libnauka@naukaran.com.  

Действия с материалами доступны только авторизованным пользователям.  

 

* - цена актуальна только для физических лиц
В т.ч. НДС 20%