Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «ПОЛЕВОЙ ТРАНЗИСТОР С КАНАЛОМ-НАНОПРОВОДОМ НА ОСНОВЕ НЕРАВНОМЕРНО ЛЕГИРОВАННОГО КНИ, "Микроэлектроника"»

Авторы:
  • Амитонов С.В.1
  • Преснов Д.Е.2
  • Рудаков В.И.3
  • Крупенин В.А.4
стр. 200-
Платно
1 Физический Факультет МГУ, 2 Научно-Исследовательский Институт Ядерной Физики МГУ, 3 Ярославский филиал Физико-технологического института Российской АН, 4 Физический Факультет МГУ
  • В выпуске: №3, 2013, Том 42
  • В журнале: Микроэлектроника
  • Издательство: ФГУП «Издательство «Наука»
  • Рубрика ГРНТИ: Информатика. Информационные и вычислительные системы
  • Год выхода: 2013
Аннотация:
В работе представлены методы изготовления и результаты исследования полевого транзистора на основе кремниевого нанопровода из неравномерно легированного мышьяком кремния на изоляторе (КНИ). Концентрация легирующей примеси изменялась по глубине кремниевого слоя толщиной 100 нм от величины более 10<sup>20</sup> см<sup>-3</sup> до значений порядка 10<sup>17</sup> см<sup>-3</sup>. Полевой транзистор изготавливался из материала КНИ методами электронной литографии и реактивно-ионного травления. Верхняя высокопроводящая часть кремниевого слоя служила основой для подводящих электродов и контактных площадок. Нижний подслой использовался для формирования полупроводникового канала-нанопровода. Проведены измерения вольт-амперных и затворных характеристик транзисторов при температурах 77 и 300 К. Анализируется возможность использования полевого транзистора на основе кремниевого нанопровода в качестве высокочувствительного локального полевого и зарядового сенсора с нанометровым пространственным разрешением для применений в различных областях физики, техники и медицины.

Архивные статьи (2015 год и ранее) доступны для ознакомления бесплатно, для скачивания их необходимо приобрести. Для просмотра материалов необходимо зарегистрироваться и авторизоваться на сайте.

Чтобы приобрести доступ к материалу для юридического лица, пожалуйста, свяжитесь с администрацией портала с помощью формы обратной связи либо по электронному адресу libnauka@naukaran.com.  

Действия с материалами доступны только авторизованным пользователям.