Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «ХИМИЧЕСКИ УСИЛЕННЫЕ РЕЗИСТЫ ДЛЯ ЛИТОГРАФИИ ВЫСОКОГО РАЗРЕШЕНИЯ, "Микроэлектроника"»

Авторы:
  • Булгакова С.А.1
  • Джонс М.М.2
  • Пестов А.Е.3
  • Торопов М.Н.4
  • Чхало Н.И.5
  • Гусев С.А.6
  • Скороходов Е.В.7
  • Салащенко Н.Н.8
стр. 206-
Платно
1 Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского, 2 Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского, 3 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт физики микроструктур Российской академии наук (ИФМ РАН), 4 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт физики микроструктур Российской академии наук (ИФМ РАН), 5 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт физики микроструктур Российской академии наук (ИФМ РАН), 6 Научно-исследовательский институт физико-химической медицины ФМБА России 119435 Москва, ул. Малая Пироговская, 1а, 7 Учреждение Российской академии наук Институт физики микроструктур РАН, Нижний Новгород, 8 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт физики микроструктур Российской академии наук (ИФМ РАН)
  • В выпуске: №3, 2013, Том 42
  • В журнале: Микроэлектроника
  • Издательство: ФГУП «Издательство «Наука»
  • Рубрика ГРНТИ: Информатика. Информационные и вычислительные системы
  • Год выхода: 2013
Аннотация:
Исследованы химически усиленные резисты на основе тер-сополимеров метилметакрилата с метакриловой кислотой и изоборнил(мет)акрилатами, претерпевающие гидролиз в присутствии фотогенерированной кислоты, ответственный за формирование изображения в резистах при экспонировании их ДУФ (254 нм), ЭУФ (13.5 нм) и электронным лучом. Проведена оценка влияния полимерной матрицы, фоточувствительного генератора кислоты и условий экспонирования на качество химически усиленного изображения.

Архивные статьи (2015 год и ранее) доступны для ознакомления бесплатно, для скачивания их необходимо приобрести. Для просмотра материалов необходимо зарегистрироваться и авторизоваться на сайте.

Чтобы приобрести доступ к материалу для юридического лица, пожалуйста, свяжитесь с администрацией портала с помощью формы обратной связи либо по электронному адресу libnauka@naukaran.com.  

Действия с материалами доступны только авторизованным пользователям.  

 

* - цена актуальна только для физических лиц
В т.ч. НДС 20%