Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «ТЕСТ-ОБЪЕКТ ДЛЯ КАЛИБРОВКИ ПРОСВЕЧИВАЮЩЕГО ЭЛЕКТРОННОГО МИКРОСКОПА, "Микроэлектроника"»

Авторы:
  • Васильев А. Л.1
  • Гавриленко В.П.2
  • Ковальчук М.В.3
  • Митюхляев В.Б.4
  • Озерин Ю.В.5
  • Раков А.В.6
  • Роддатис В.В.7
  • Тодуа П.А.8
  • Филиппов М.Н.9
стр. 194-
Платно
1 Национальный исследовательский центр “Курчатовский институт’’, 2 ОАО Научный центр по изучению свойств поверхности и вакуума (НИЦПВ), 3 Институт кристаллографии РАН, Москва, 4 Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума, 5 Предприятие “Микрон”, 6 Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума, 7 Российский исследовательский центр, Курчатовский институт, 8 ОАО “НИЦПВ”, Москва, 9 Институт общей и неорганической химии им. Н.С. Курнакова Российской академии наук 119991 Москва, Ленинский просп., 31
  • В выпуске: №3, 2013, Том 42
  • В журнале: Микроэлектроника
  • Издательство: ФГУП «Издательство «Наука»
  • Рубрика ГРНТИ: Информатика. Информационные и вычислительные системы
  • Год выхода: 2013
Аннотация:
Предложен новый тест-объект для калибровки просвечивающего электронного микроскопа (<b>ПЭМ</b>) и растрового просвечивающего микроскопа. Тест объект изготовлен путем ионного резания кремниевой рельефной структуры с аттестованными размерами элементов рельефа, что позволило его использовать как в диапазоне больших увеличений (при прямом наблюдении кристаллической решетки), так и в диапазоне средних (вблизи 30 000) увеличений.

Архивные статьи (2015 год и ранее) доступны для ознакомления бесплатно, для скачивания их необходимо приобрести. Для просмотра материалов необходимо зарегистрироваться и авторизоваться на сайте.

Чтобы приобрести доступ к материалу для юридического лица, пожалуйста, свяжитесь с администрацией портала с помощью формы обратной связи либо по электронному адресу libnauka@naukaran.com.  

Действия с материалами доступны только авторизованным пользователям.