Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «ИЗМЕРЕНИЕ ГЕОМЕТРИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ НАНОРАЗМЕРНЫХ ОБЪЕКТОВ В НИЗКОВОЛЬТНОМ РЕЖИМЕ РАСТРОВОГО ЭЛЕКТРОННОГО МИКРОСКОПА МЕТОДОМ ДЕФОКУСИРОВКИ ЭЛЕКТРОННОГО ПУЧКА, "Микроэлектроника"»

Авторы:
  • Бодунов Д.С.1
  • Данилова М.А.2
  • Кальнов В.А.3
  • Кузин А.Ю.4
  • Митюхляев В.Б.5
  • Орликовский А.А.6
  • Раков А.В.7
  • Тодуа П.А.8
  • Филиппов М.Н.9
стр. 127-
Платно
1 Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума, 2 Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума, 3 Физико-технологический институт Российской АН, 4 Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума, 5 Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума, 6 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Физико-технологический институт Российской академии наук, Москва, 7 Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума, 8 ОАО “НИЦПВ”, Москва, 9 Институт общей и неорганической химии им. Н.С. Курнакова Российской академии наук 119991 Москва, Ленинский просп., 31
  • В выпуске: №2, 2013, Том 42
  • В журнале: Микроэлектроника
  • Издательство: ФГУП «Издательство «Наука»
  • Рубрика ГРНТИ: Информатика. Информационные и вычислительные системы
  • Год выхода: 2013
Аннотация:
Выполнены измерения линейных размеров элемента нанорельефа с трапецеидальным профилем в растровом электронном микроскопе (РЭМ), работающем при ускоряющем напряжении 800 В, методом дефокусировки электронного пучка. Показано, что видеосигнал во вторичных электронах может быть представлен как кусочно-линейная функция с характерными точками излома. Установлено, что расстояния между экстремумами и точками начала возрастания сигнала линейно зависят от эффективного диаметра d<sub>ef</sub>, электронного пучка РЭМ. Экстраполяция этих прямых к d<sub>ef</sub> = 0 позволяет определить значения размеров верхнего и нижнего оснований упомянутого выше элемента нанорельефа и среднее значение проекции боковой стенки элемента.

Архивные статьи (2015 год и ранее) доступны для ознакомления бесплатно, для скачивания их необходимо приобрести. Для просмотра материалов необходимо зарегистрироваться и авторизоваться на сайте.

Чтобы приобрести доступ к материалу для юридического лица, пожалуйста, свяжитесь с администрацией портала с помощью формы обратной связи либо по электронному адресу libnauka@naukaran.com.  

Действия с материалами доступны только авторизованным пользователям.  

 

* - цена актуальна только для физических лиц
В т.ч. НДС 20%