Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «ИЗМЕРЕНИЕ ТОЛЩИНЫ ЕСТЕСТВЕННОГО ОКИСЛА НА ТЕСТОВОЙ РЕЛЬЕФНОЙ ШАГОВОЙ СТРУКТУРЕ НА ПОДЛОЖКЕ ИЗ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ, "Микроэлектроника"»

Авторы:
  • Гавриленко В.П.1
  • Кузин А.А.2
  • Кузин А.Ю.3
  • Кузьмин А.А.4
  • Митюхляев В.Б.5
  • Раков А.В.6
  • Тодуа П.А.7
  • Филиппов М.Н.8
стр. 131-
Платно
1 ОАО Научный центр по изучению свойств поверхности и вакуума (НИЦПВ), 2 Московский физико-технический институт, 3 Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума, 4 Московский физико-технический институт, 5 Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума, 6 Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума, 7 ОАО “НИЦПВ”, Москва, 8 Институт общей и неорганической химии им. Н.С. Курнакова Российской академии наук 119991 Москва, Ленинский просп., 31
  • В выпуске: №2, 2013, Том 42
  • В журнале: Микроэлектроника
  • Издательство: ФГУП «Издательство «Наука»
  • Рубрика ГРНТИ: Информатика. Информационные и вычислительные системы
  • Год выхода: 2013
Аннотация:
В работе использовалась тестовая рельефная шаговая структура на поверхности монокристаллического кремния. Структура представляет собой набор элементов (выступов) с трапецеидальным профилем и шагом 2 мкм. В одном чипе расположены выступы с верхнем основанием около 100 нм и 10 нм. Наклон боковой стороны элемента относительно его основания составляет 54.7°. Вся структура покрыта естественным окислом, возникшим при комнатной температуре, толщину которого измеряют на просвечивающем электронном микроскопе с атомарным разрешением по наблюдаемой картине в режиме прямого разрешения кристаллической структуры. Для измерений использовано известное расстояние между плоскостями {111}. Установлено, что толщина естественного окисла зависит как от размера верхнего основания выступа, так и от размера профиля дна между соседними выступами. Экспериментально показано, что в области этого дна толщина естественного окисла возрастает от 2.4 нм в середине дна, достигая к левому и правому краям дна 5 нм.

Архивные статьи (2015 год и ранее) доступны для ознакомления бесплатно, для скачивания их необходимо приобрести. Для просмотра материалов необходимо зарегистрироваться и авторизоваться на сайте.

Чтобы приобрести доступ к материалу для юридического лица, пожалуйста, свяжитесь с администрацией портала с помощью формы обратной связи либо по электронному адресу libnauka@naukaran.com.  

Действия с материалами доступны только авторизованным пользователям.  

 

* - цена актуальна только для физических лиц
В т.ч. НДС 20%