Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «КОМПЛЕКСНЫЕ ИССЛЕДОВАНИЯ ЭФФЕКТОВ ЗАРЯДКИ ПОЛИМЕРНОГО РЕЗИСТА (ПММА) ПРИ ЭЛЕКТРОННОЙ ЛИТОГРАФИИ, "Микроэлектроника"»

Авторы:
  • Рау Э.И.1
  • Евстафьева Е.Н.2
  • Зайцев С.И.3
  • Князев М.А.4
  • Свинцов А.А.5
  • Татаринцев А.А.6
стр. 116-
Платно
1 Физический факультет Московского Государственного университета имени М.В. Ломоносова, Москва, 2 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова, физический факультет, 3 ИПТМ Российской АН, 4 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской академии наук, Черноголовка, 5 ИПТМ Российской АН, 6 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт проблем технологий микроэлектроники и особочистых материалов Российской академии наук, Черноголовка
  • В выпуске: №2, 2013, Том 42
  • В журнале: Микроэлектроника
  • Издательство: ФГУП «Издательство «Наука»
  • Рубрика ГРНТИ: Информатика. Информационные и вычислительные системы
  • Год выхода: 2013
Аннотация:
Приведены результаты измерений поверхностного потенциала зарядки пленок ПММА различной толщины под воздействием облучения электронными пучками различной энергии. Даны соответствующие диапазоны энергий первичных электронов для случаев как положительной, так и отрицательной зарядки диэлектриков. Показано, что для каждого значения толщины ПММА резиста существуют две индивидуальные критические энергии электронов, при которых резист не заряжается, и которые могут быть рекомендованы для низковольтной и высоковольтной электронной нанолитографии с минимальными ошибками позиционирования луча. Эксперименты показали очень высокое значение критического напряжения пробоя ПММА-пленки, величиной порядка 10<sup>7</sup> В/см.

Архивные статьи (2015 год и ранее) доступны для ознакомления бесплатно, для скачивания их необходимо приобрести. Для просмотра материалов необходимо зарегистрироваться и авторизоваться на сайте.

Чтобы приобрести доступ к материалу для юридического лица, пожалуйста, свяжитесь с администрацией портала с помощью формы обратной связи либо по электронному адресу libnauka@naukaran.com.  

Действия с материалами доступны только авторизованным пользователям.  

 

* - цена актуальна только для физических лиц
В т.ч. НДС 20%