Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «МОДЕЛИРОВАНИЕ ЭФФЕКТОВ ВОЗДЕЙСТВИЯ ВНУТРЕННИХ МЕХАНИЧЕСКИХ НАПРЯЖЕНИЙ НА КИНЕТИКУ РАСПАДА ПЕРЕСЫЩЕННОГО РАСТВОРА КИСЛОРОДА В КРЕМНИИ, "Микроэлектроника"»

Авторы:
  • Махвиладзе Т.М.
  • Сарычев М.Е.
стр. 14-22
Платно
  • В выпуске: №1, 2018, Том 47
  • В журнале: Микроэлектроника
  • Издательство: ФГУП «Издательство «Наука»
  • Рубрика ГРНТИ: Информатика. Информационные и вычислительные системы
  • Год выхода: 2018
Аннотация:
В работе обоснован и подробно сформулирован метод моделирования влияния механических напряжений, возникающих в системе кремниевая матрица - кислородный преципитат (SiO2), на скорости основных процессов, определяющих кинетику преципитации. Развитая модель основана на использовании классической теории кинетики фазовых переходов 1-го рода с учетом наблюдаемых особенностей роста частиц SiO2 в кремнии (двухстадийности процесса преципитации) и основных соотношений теории упругости. В частности, в рамках развитого подхода найдены и проанализированы зависимости основных кинетических параметров, описывающих изменения количества критических зародышей преципитатной фазы, от характеристик межфазных механических напряжений, возникающих и развивающихся в ходе процесса посткристаллизационного охлаждения кремниевых пластин.

Архивные статьи (2015 год и ранее) доступны для ознакомления бесплатно, для скачивания их необходимо приобрести. Для просмотра материалов необходимо зарегистрироваться и авторизоваться на сайте.

Чтобы приобрести доступ к материалу для юридического лица, пожалуйста, свяжитесь с администрацией портала с помощью формы обратной связи либо по электронному адресу libnauka@naukaran.com.  

Действия с материалами доступны только авторизованным пользователям.