Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «РАСЧЕТ АЧХ МЭМС-МИКРОФОНА C ПОМОЩЬЮ КОНЕЧНО-ЭЛЕМЕНТНОГО МОДЕЛИРОВАНИЯ, "Микроэлектроника"»

Авторы:
  • Григорьев Д. М.1
  • Годовицын И. В.2
  • Амеличев В.В.3
  • Генералов С.С.4
стр. 238-243
Платно
1 Федеральное государственное бюджетное научное учреждение "Научно-производственный комплекс "Технологический центр", 2 Федеральное государственное бюджетное научное учреждение "Научно-производственный комплекс "Технологический центр", 3 Научно-производственный комплекс, Технологический центр, 4 Общество с ограниченной ответственностью “Научно-производственное предприятие "Технология” 124498, Россия, г. Москва, Зеленоград, МИЭТ, комн. 7201
  • В выпуске: №3, 2018, Том 47
  • В журнале: Микроэлектроника
  • Издательство: ФГУП «Издательство «Наука»
  • Рубрика ГРНТИ: Информатика. Информационные и вычислительные системы
  • Год выхода: 2018
Аннотация:
АЧХ (амплитудно-частотная характеристика) МЭМС-микрофона существенно зависит от конструкции и размеров корпуса. Наибольшее влияние оказывают расположение и размер акустического отверстия, размеры надмембранного и подмембранного объемов, материал корпуса. В работе представлены результаты расчета АЧХ МЭМС-микрофона с использованием конечно-элементного моделирования для двух основных типов корпуса, характеризующихся положением акустических отверстий. Приведен анализ и сравнение результатов моделирования с измеренными АЧХ-макета МЭМС-микрофона.

Архивные статьи (2015 год и ранее) доступны для ознакомления бесплатно, для скачивания их необходимо приобрести. Для просмотра материалов необходимо зарегистрироваться и авторизоваться на сайте.

Чтобы приобрести доступ к материалу для юридического лица, пожалуйста, свяжитесь с администрацией портала с помощью формы обратной связи либо по электронному адресу libnauka@naukaran.com.  

Действия с материалами доступны только авторизованным пользователям.