Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «АТОМНО-СЛОЕВOE ОСАЖДЕНИЕ НИТРИДА АЛЮМИНИЯ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ ТРИС(ДИЭТИЛАМИДО)АЛЮМИНИЯ И ГИДРАЗИНА ИЛИ АММИАКА, "Микроэлектроника"»

Авторы:
  • Абдулагатов А. И.1
  • Рамазанов Ш. М.2
  • Даллаев Р. С.3
  • Мурлиев Э. К.4
  • Палчаев Д.К.5
  • Рабаданов М.Х.6
  • Абдулагатов И.М.7
стр. 131-145
Платно
1 Дагестанский государственный университет, 2 Дагестанский государственный университет, 3 Дагестанский государственный университет, 4 Дагестанский государственный университет, 5 Дагестанский государственный университет, г. Махачкала, 6 Дагестанский государственный университет, Махачкала, 7 Национальный институт стандартов и технологий США
  • В выпуске: №2, 2018, Том 47
  • В журнале: Микроэлектроника
  • Издательство: ФГУП «Издательство «Наука»
  • Рубрика ГРНТИ: Информатика. Информационные и вычислительные системы
  • Год выхода: 2018
Аннотация:
Исследовался процесс нанесения пленок нитрида алюминия (AlNx) методом атомно-слоевого осаждения (АСО) с использованием трис(диэтиламидо)алюминия (III) (ТДЭАА) в комбинации с гидразином (N2H4) или аммиаком (NH3). Данные кварцевого пьезоэлектрического микровзвешивания (КПМ) показали, что поверхностные реакции ТДЭАА и N2H4 (или NH3) при температурах от 150 до 225°C являются самоограничивающимися. Скорость осаждения нитридной пленки при 200°C для систем с N2H4 и NH3 совпадала и составляла ~1.1??/цикл. Пленки АСО AlN полученной при 200°C с применением гидразина имели более высокую плотность 2.36?г/см3 (72.4% от объёмной плотности), чем полученные с помощью аммиака 2.22?г/см3 (68%). Элементный анализ пленки осажденной АСО ТДЭАА/N2H4 при 200°C показал присутствие примесей углерода ~1.4?ат.%, кислорода ~3.2?ат.% и водорода 22.6?ат.%. Отношение атомной концентрации N/Al составляла ~1.3. Содержание остаточных примесей при использовании N2H4 было ниже, чем при NH3. В целом, было подтверждено что гидразин обладает более предпочтительной поверхностной термохимией чем аммиак.

Архивные статьи (2015 год и ранее) доступны для ознакомления бесплатно, для скачивания их необходимо приобрести. Для просмотра материалов необходимо зарегистрироваться и авторизоваться на сайте.

Чтобы приобрести доступ к материалу для юридического лица, пожалуйста, свяжитесь с администрацией портала с помощью формы обратной связи либо по электронному адресу libnauka@naukaran.com.  

Действия с материалами доступны только авторизованным пользователям.