Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «ОБНАРУЖЕНИЕ ДЕФЕКТОВ НА ПОВЕРХНОСТИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ МАТЕРИАЛОВ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКОГО БАРЬЕРНОГО РАЗРЯДА, "Микроэлектроника"»

Авторы:
  • Ситанов Д. В.1
  • Пивоваренок С.А.2
стр. 38-44
Платно
1 ФГБОУ ВО “Ивановский государственный химико-технологический университет ” НИИ Т и К Ивановского государственного химико-технологического университета, 2 Ивановский государственный химико-технологический университет
  • В выпуске: №1, 2018, Том 47
  • В журнале: Микроэлектроника
  • Издательство: ФГУП «Издательство «Наука»
  • Рубрика ГРНТИ: Информатика. Информационные и вычислительные системы
  • Год выхода: 2018
Аннотация:
Показаны возможности плазменных технологий для анализа состояния поверхности твердых материалов на наличие различного рода дефектов с использованием самостоятельного диэлектрического барьерного разряда при атмосферном давлении. Особое внимание уделено вопросам контроля поверхностных дефектов, торцевым сколам на полупроводниковых пластинах и проколам в слоистых структурах.

Архивные статьи (2015 год и ранее) доступны для ознакомления бесплатно, для скачивания их необходимо приобрести. Для просмотра материалов необходимо зарегистрироваться и авторизоваться на сайте.

Чтобы приобрести доступ к материалу для юридического лица, пожалуйста, свяжитесь с администрацией портала с помощью формы обратной связи либо по электронному адресу libnauka@naukaran.com.  

Действия с материалами доступны только авторизованным пользователям.