Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА С ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВЫМ ИСПАРИТЕЛЕМ И ШЛЮЗОВОЙ ЗАГРУЗКОЙ ГРУППОВЫХ ПОДЛОЖКОДЕРЖАТЕЛЕЙ, "Электронная техника. Серия 3. Микроэлектроника"»

Авторы:
  • Хошев А.В.1
  • Аверьянов Е.В.2
  • Одиноков В.В.3
  • Костюков Д.А.4
  • Овцын А.А.5
стр. 24-28
Платно
1 АО «НИИТМ», 2 АО «НИИТМ», 3 АО «НИИТМ», 4 АО «НИИТМ», 5 АО «НИИТМ»
Аннотация:
Разработана новая вакуумная установка (ЭЛУ ТМ 1Ш) с многотигельным электронно-лучевым испарителем (ЭЛИ) и шлюзовой загрузкой групповых подложкодержателей под пластины 100-150 мм. Установка предназначена в основном для нанесения однослойных или многослойных пленок в технологии взрывной фотолитографии.
Пожалуйста, авторизуйтесь, чтобы получить бесплатный доступ к статье.