Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «ВЛИЯНИЕ ФОТОГЕНЕРАТОРА КИСЛОТЫ В АНТИОТРАЖАЮЩЕМ ПОКРЫТИИ НА ПРОФИЛЬ ЭЛЕМЕНТОВ, ФОРМИРУЕМЫХ В ФОТОРЕЗИСТЕ, "Электронная техника. Серия 3. Микроэлектроника"»

Авторы:
  • Кузнецова Н.А.
  • Беклемышев В.И.1
  • Грибов Б.Г.2
стр. 35-37
Платно
1 АО «НИИМЭ», 2 АО «НИИМЭ»
Аннотация:
Экспериментально показано, что введение фотогенератора кислоты в композицию антиотражающего покрытия позволяет улучшить профиль полученных на нем элементов фоторезиста, а именно – формировать элементы без уширения у основания (footing).
Пожалуйста, авторизуйтесь, чтобы получить бесплатный доступ к статье.