Âîéòè / Ðåãèñòðàöèÿ
Êîðçèíà

  • Âàøà êîðçèíà ïóñòà
Âîéòè / Ðåãèñòðàöèÿ
Êîðçèíà

  • Âàøà êîðçèíà ïóñòà

Ñòàòüÿ «IN SITU ÊÎÍÒÐÎËÜ ÐÀÇÂÈÒÈß ØÅÐÎÕÎÂÀÒÎÑÒÈ ÏÎÂÅÐÕÍÎÑÒÈ ÊÐÅÌÍÈß ÏÐÈ ÒÐÀÂËÅÍÈÈ Â ÕËÎÐÑÎÄÅÐÆÀÙÅÉ ÏËÀÇÌÅ, "Ýëåêòðîííàÿ òåõíèêà. Ñåðèÿ 3. Ìèêðîýëåêòðîíèêà"»

Àâòîðû:
  • Àìèðîâ È.È.1
  • Èçþìîâ Ì.Î.2
  • Êóïðèÿíîâ À.Í.3
ñòð. 26-34
Ïëàòíî
1 ßðîñëàâñêèé ôèëèàë Ôèçèêî-òåõíîëîãè÷åñêîãî èíñòèòóòà Ðîññèéñêîé ÀÍ, 2 ßðîñëàâñêèé ôèëèàë Ôèçèêî-òåõíîëîãè÷åñêîãî èíñòèòóòà ÐÀÍ, 150007 ßðîñëàâëü, Ðîññèÿ,, 3 ßðîñëàâñêèé ôèëèàë Ôèçèêî-òåõíîëîãè÷åñêîãî èíñòèòóòà Ðîññèéñêîé ÀÍ, ßðîñëàâëü
Àííîòàöèÿ:
Ïðèâåäåíû ðåçóëüòàòû èññëåäîâàíèÿ ðàçâèòèÿ øåðîõîâàòîñòè ïîâåðõíîñòè Si â ïðîöåññå åå òðàâëåíèÿ â ïëàçìå Cl/Ar ïðè íèçêîé ýíåðãèè èîíîâ. Êîíòðîëü ðàçâèòèÿ øåðîõîâàòîñòè îñóùåñòâëÿëñÿ in situ ïî âåëè÷èíå ñèãíàëà îòðàæåíèÿ ëàçåðíîãî ëó÷à îò ïîâåðõíîñòè Si â ñî÷åòàíèè ñ èçìåðåíèÿìè øåðîõîâàòîñòè ìåòîäîì ñêàíèðóþùåé ýëåêòðîííîé ìèêðîñêîïèè. Ïîêàçàíî, ÷òî ïî èçìåíåíèþ îòðàæåííîãî ñèãíàëà ìîæíî ðåãèñòðèðîâàòü øåðîõîâàòîñòü ïîâåðõíîñòè îò åäèíèö äî ñîòåí íàíîìåòðîâ. Îáíàðóæåíî, ÷òî âåëè÷èíà íàíîìåòðîâîé øåðîõîâàòîñòè íå çàâèñèò îò ñîäåðæàíèÿ Ar (< 80% Ar) â ïëàçìå. Îáñóæäàþòñÿ ïðè÷èíû âîçíèêíîâåíèÿ òàêîé ìåëêîìàñøòàáíîé øåðîõîâàòîñòè, à òàêæå ïðè÷èíû îáðàçîâàíèÿ ñóáìèêðîííûõ ñòðóêòóð íà ïîâåðõíîñòè, âîçíèêíîâåíèå êîòîðûõ ìîæíî îõàðàêòåðèçîâàòü êàê ïðîÿâëåíèå êðóïíîìàñøòàáíîé øåðîõîâàòîñòè.
Ïîæàëóéñòà, àâòîðèçóéòåñü, ÷òîáû ïîëó÷èòü áåñïëàòíûé äîñòóï ê ñòàòüå.