Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «РАЗРАБОТКА ТЕХНОЛОГИИ МАГНЕТРОННОГО НАНЕСЕНИЯ ПЛЕНОК LIPON И?ИССЛЕДОВАНИЕ ИХ ХАРАКТЕРИСТИК, "Микроэлектроника"»

Авторы:
  • Васильев С.В.1
  • Лебедев М.Е.2
  • Мазалецкий Л.А.3
  • Метлицкая А.В.4
  • Мироненко А.А.5
  • Наумов В.В.6
  • Новожилова А.В.7
  • Рудый А.С.8
  • Федоров И.С.9
стр. 462-471
Платно
1 Ярославский государственный университет им. П.Г. Демидова, 2 Ярославский государственный университет им. П.Г. Демидова, 3 Ярославский государственный университет им. П.Г. Демидова, 4 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования “Ярославский государственный университет имени П.Г. Демидова”, 5 Ярославский филиал Физико-технологического института Российской АН, 6 Ивановский государственный химико-технологический университет, НИИ термодинамики и кинетики химических процессов, 7 Ярославский государственный университет им. П.Г. Демидова; Ярославский филиал Физико-технологического института РАН, 8 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования “Ярославский государственный университет имени П.Г. Демидова”, 9 Ярославский государственный университет им. П.Г. Демидова
  • В выпуске: №6, 2017, Том 46
  • В журнале: Микроэлектроника
  • Издательство: ФГУП «Издательство «Наука»
  • Рубрика ГРНТИ: Информатика. Информационные и вычислительные системы
  • Год выхода: 2017
Аннотация:
Представлены результаты отработки технологии магнетронного нанесения твердого электролита LiPON и?экспериментального исследования его характеристик. Приведено описание основных технологических операций и?параметров, обеспечивающих получение пленок требуемой морфологии, структуры, элементного и?фазового состава. Приведены данные измерений электрофизических параметров пленок методом циклической вольтамперометрии и?потенциометрии.

Архивные статьи (2015 год и ранее) доступны для ознакомления бесплатно, для скачивания их необходимо приобрести. Для просмотра материалов необходимо зарегистрироваться и авторизоваться на сайте.

Чтобы приобрести доступ к материалу для юридического лица, пожалуйста, свяжитесь с администрацией портала с помощью формы обратной связи либо по электронному адресу libnauka@naukaran.com.  

Действия с материалами доступны только авторизованным пользователям.