Статья «Встраиваемый в технологию процесс CVD-роста УНТ с использованием каталитических тонких пленок Ct–Me–N–O, "Микроэлектроника"»

Исследован процесс формирования массивов углеродных нанотрубок на каталитических сплавах Ct–Me–N с низким содержанием никеля (10–20 ат. %) методом химического осаждения из газовой фазы, где Ct – каталитический металл из группы Ni, Co, Fe, Pd; Me – переходный металл IV–VII группы Периодической таблицы элементов. Показано, что УНТ эффективно растут, если сплав содержит Ti, V, Cr, Zr, Hf, Nb, Ta. Добавление азота и кислорода в состав сплава способствует образованию оксинитридов, выдавливанию катализатора и образованию его кластеров на поверхности. Замена металлов в сплаве влияет на диаметр УНТ. При этом для роста УНТ могут использоваться пленки сплава различной толщины (10–500 нм), что обуславливает хорошую однородность и воспроизводимость процесса. Рост УНТ не наблюдался, если сплав содержал W, Re.