Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «ЭКСПРЕСС-КОНТРОЛЬ ТОЛЩИНЫ И СПЕКТРАЛЬНО-ЭЛЛИПСОМЕТРИЧЕСКОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ ПЛЕНОК, ПОЛУЧЕННЫХ ТЕРМООКСИДИРОВАНИЕМ InP И СТРУКТУР VxOy/InP, "Неорганические материалы"»

Авторы:
  • Миттова И.Я.1
  • Швец В.А.2
  • Томина Е.В.3
  • Сладкопевцев Б.В.4
  • Третьяков Н.Н.5
  • Лапенко А.А.6
стр. 173-
Платно
1 Воронежский государственный университет, 2 Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова СО Российской академии наук, Новосибирск, 3 Воронежский государственный университет, 4 Воронежский государственный университет, 5 Воронежский государственный университет, 6 Воронежский государственный университет
Аннотация:
Методом спектральной эллипсометрии определены толщины и оптические свойства пленок, сформированных термооксидированием InP и структур VxOy/InP. На основании сравнения результатов определения оптических характеристик и толщины пленок нанометрового диапазона с данными экспресс-эллипсометрического метода обоснована необходимость использования для пленок сложного состава обоих методов. Показано, что поглощение в таких пленках обусловлено, в частности, присутствием неокисленного индия, влияющего на оптические свойства пленок и результаты эллипсометрических измерений.

Архивные статьи (2015 год и ранее) доступны для ознакомления бесплатно, для скачивания их необходимо приобрести. Для просмотра материалов необходимо зарегистрироваться и авторизоваться на сайте.

Чтобы приобрести доступ к материалу для юридического лица, пожалуйста, свяжитесь с администрацией портала с помощью формы обратной связи либо по электронному адресу libnauka@naukaran.com.  

Действия с материалами доступны только авторизованным пользователям.