Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ И КОНЦЕНТРАЦИИ ЗАРЯЖЕННЫХ ЧАСТИЦ В ПЛАЗМЕ МЕТАНА, "Микроэлектроника"»

Авторы:
  • Семенова О.А.1
  • Ефремов А.М.2
  • Баринов С.М.3
  • Кучумов А.А.4
  • Светцов В.И.5
стр. 375-
Платно
1 ФГБОУ ВПО “Ивановский государственный химико-технологический университет”, 2 Ивановский государственный химико-технологический университет, 3 ФГБОУ ВПО “Ивановский государственный химико-технологический университет”, 4 ФГБОУ ВПО “Ивановский государственный химико-технологический университет”, 5 Ивановский государственный химико-технологический университет
  • В выпуске: №5, 2013, Том 42
  • В журнале: Микроэлектроника
  • Издательство: ФГУП «Издательство «Наука»
  • Рубрика ГРНТИ: Информатика. Информационные и вычислительные системы
  • Год выхода: 2013
Аннотация:
Проведено исследование стационарных параметров и состава плазмы тлеющего разряда постоянного тока (<i>p</i> = 40?200 Па, <i>i</i> = 30?70 мА) в метане методами зондовой диагностики и математического моделирования при решении кинетического уравнения Больцмана. Получены данные по приведенной напряженности электрического поля, энергетическим распределениям электронов, константам скоростей процессов при электронном ударе, концентрациям заряженных частиц и плотностям их потоков на поверхность, ограничивающую зону плазмы. Установлено, что процесс ассоциативного отрыва электрона от отрицательного иона H<sup>-</sup> + R <img src="/ItemImages/1133414/20130355/FO_2_1.gif" align=absmiddle border=0> H?R + e (где R = H, CH<sub>3</sub>, CH<sub>2</sub>, CH ... ) оказывает существенное влияние на баланс заряженных частиц в плазме.

Архивные статьи (2015 год и ранее) доступны для ознакомления бесплатно, для скачивания их необходимо приобрести. Для просмотра материалов необходимо зарегистрироваться и авторизоваться на сайте.

Чтобы приобрести доступ к материалу для юридического лица, пожалуйста, свяжитесь с администрацией портала с помощью формы обратной связи либо по электронному адресу libnauka@naukaran.com.  

Действия с материалами доступны только авторизованным пользователям.