Статья «РАСЧЕТ ПРОПУСКНОЙ СПОСОБНОСТИ ГАЗОВОГО КАНАЛА ИСТОЧНИКОВ ПУЧКОВ БЫСТРЫХ НЕЙТРАЛЬНЫХ ЧАСТИЦ МЕТОДОМ МОНТЕ-КАРЛО, "Микроэлектроника"»

В работе представлено описание модели, основанной на методе Монте-Карло, и приведены результаты математического моделирования пропускной способности выходной апертуры для ионного источника с ленточным пучком и того же источника с системой нейтрализации ионного пучка и электростатической отклоняющей системой. Для указанных конструкций приведены распределения нормированного давления и столкновительной толщины газа вдоль оси канала. Полученные результаты свидетельствуют о достаточно сильном влиянии указанных конструктивных элементов на пропускную способность и, следовательно, на режим работы источника ионов. Результаты моделирования могут быть использованы для коррекции величины расхода газа в источнике с целью поддержания неизменных условий горения разряда, а также для оценки эффективности процесса перезарядки ионов в канале источника.