Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «СТРУКТУРНЫЕ И ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ СИЛЬНО ЛЕГИРОВАННЫХ СЛОЕВ КРЕМНИЯ n-ТИПА, СОЗДАВАЕМЫХ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИЕЙ, "Микроэлектроника"»

Авторы:
  • Садовский П.К.1
  • Челядинский А.Р.2
  • Оджаев В.Б.3
  • Гайдук П.И.4
  • Белоус А.И.5
  • Плебанович В.И.6
  • Васильев Ю.Б.7
стр. 50-
Платно
1 Белорусский государственный университет, Минск, Беларусь, 2 Белорусский государственный университет, Минск, Беларусь, 3 Белорусский государственный университет, Минск, Беларусь, 4 Белорусский государственный университет, Минск, Беларусь, 5 ОАО “Интеграл”, Минск, Беларусь, 6 ОАО “Интеграл”, Минск, Беларусь, 7 ОАО “Интеграл”, Минск, Беларусь
  • В выпуске: №1, 2013, Том 42
  • В журнале: Микроэлектроника
  • Издательство: ФГУП «Издательство «Наука»
  • Рубрика ГРНТИ: Информатика. Информационные и вычислительные системы
  • Год выхода: 2013
Аннотация:
Исследованы электрофизические и структурные параметры слоев кремния, созданных имплантацией Sb, P, а также совместной имплантацией Sb и P и отожженных при различных температурах (700?1220°С). Степень электрической активации сурьмы и параметр решетки ионно-легированного слоя определяются атомами Sb в узлах решетки и образующимися преципитатами сурьмы. При высоких температурах (1220°С) отжига в инертной среде преципитаты распадаются, и на их месте образуются микропустоты. Преципитаты и микропустоты сжимают решетку кремния. При высокотемпературном отжиге в среде кислорода микропоры не образуются. Активация примеси составляет 100%. Период решетки в слое совпадает с расчетными значениями. В слоях кремния, созданных двойной имплантацией сурьмы и фосфора, атомы фосфора являются центрами преципитации сурьмы.

Архивные статьи (2015 год и ранее) доступны для ознакомления бесплатно, для скачивания их необходимо приобрести. Для просмотра материалов необходимо зарегистрироваться и авторизоваться на сайте.

Чтобы приобрести доступ к материалу для юридического лица, пожалуйста, свяжитесь с администрацией портала с помощью формы обратной связи либо по электронному адресу libnauka@naukaran.com.  

Действия с материалами доступны только авторизованным пользователям.