Статья «ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ И СПЕКТРЫ ИЗЛУЧЕНИЯ ПЛАЗМЫ ТРИХЛОРИДА БОРА, "Микроэлектроника"»

Проведен анализ электрофизических параметров и спектра излучения плазмы BCl3 в условиях тлеющего разряда постоянного тока. Получены данные по температуре газа и приведенной напряженности электрического поля. Установлено, что приведенная напряженность электрического поля в плазме BCl3 практически не зависит от тока разряда (при постоянном давлении газа), при этом заметно уменьшается с ростом давления газа (при постоянстве тока разряда). Показано, что линейное увеличение температуры газа с ростом давления обусловлено ростом удельной мощности, вкладываемой в разряд. Спектры излучения плазмы BCl3 представлены атомарными и молекулярными компонентами. Установлено, что с ростом тока происходит линейное увеличение интенсивности излучения, что соответствует механизму прямого возбуждения излучающих состояний при электронном ударе и свидетельствует об отсутствии вторичных процессов.