Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «ОСНОВНЫЕ ПРИЕМЫ УВЕЛИЧЕНИЯ РАЗРЕШАЮЩЕЙ СПОСОБНОСТИ ФОТОПОЛИМЕРИЗУЮЩИХСЯ КОМПОЗИЦИЙ, "Микроэлектроника"»

Авторы:
  • Треушников В. М.1
  • Молодняков С. П.2
  • Семенов В. В.3
стр. 56-71
Платно
1 OOO Предприятие "Репер", 2 OOO Предприятие "Репер", 3 Санкт-Петербургский политехнический университет
  • В выпуске: №1, 2018, Том 47
  • В журнале: Микроэлектроника
  • Издательство: ФГУП «Издательство «Наука»
  • Рубрика ГРНТИ: Информатика. Информационные и вычислительные системы
  • Год выхода: 2018
Аннотация:
Рассматриваются жидкие фотополимеризующиеся по радикальному механизму композиции (ФПК), позволяющие формировать изделия толщиной от десяти до нескольких сотен мкм и линейными размерами элементов, равными нескольким мкм. Они представляют собой смеси органических олигомеров и мономеров, время корреляции вращательного движения парамагнитного зонда (2.2.6.6-тетраметил-4-оксипиперидин-1-оксила) в которых равно c. Только ФПК с таким временем корреляции могут обеспечить одновременно наибольшие значения скорости фотополимеризации, светочувствительности и разрешающей способности фотолитографии. В качестве обязательных составляющих они содержат фотоинициатор, генерирующий свободные радикалы по реакции типа Норриш 1, и высокоэффективный ингибитор радикальной полимеризации. Достижение предельно высокой разрешающей способности оптической фотолитографии возможно при использовании ФПК, в которых полимеризация идет по безобрывному механизму, отсутствует рост светорассеяния при экспонировании, есть ингибирующая полимеризацию система, но наложены ограничения на диффузию ингибитора. Не пригодны для этой цели системы, в которых полимеризация идет по микрогетерогенному механизму. Возможности создания таких ФПК обусловлены явлениями остановки химических реакций и нивелировки реакционной способности.

Архивные статьи (2015 год и ранее) доступны для ознакомления бесплатно, для скачивания их необходимо приобрести. Для просмотра материалов необходимо зарегистрироваться и авторизоваться на сайте.

Чтобы приобрести доступ к материалу для юридического лица, пожалуйста, свяжитесь с администрацией портала с помощью формы обратной связи либо по электронному адресу libnauka@naukaran.com.  

Действия с материалами доступны только авторизованным пользователям.