Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «ИЗМЕРЕНИЕ РАЗМЕРОВ ЭЛЕМЕНТОВ МИКРОСХЕМ С ШИРИНАМИ МЕНЬШЕ 100 нм МЕТОДОМ ДЕФОКУСИРОВКИ ЗОНДА РЭМ, "Микроэлектроника"»

Авторы:
  • Новиков Ю.А.1
стр. 61-71
Платно
1 Институт общей физики им. А.М. Прохорова РАН, Москва, Россия
  • В выпуске: №1, 2017, Том 46
  • В журнале: Микроэлектроника
  • Издательство: ФГУП «Издательство «Наука»
  • Рубрика ГРНТИ: Информатика. Информационные и вычислительные системы
  • Год выхода: 2017
Аннотация:
Используя виртуальный растровый электронный микроскоп, осуществлена проверка метода измерения на РЭМ размеров элементов микросхем с помощью дефокусировки зонда РЭМ. Метод основан на выборе на сигналах РЭМ точек, характеризующих особенности формы сигналов, и определении зависимостей расстояний между этими точками от фокусировки зонда РЭМ. Экстраполяция полученных зависимостей к нулевому размеру зонда определяет ширину выступов и канавок с трапециевидными профилями на уровне нижнего основания трапеции.

Архивные статьи (2015 год и ранее) доступны для ознакомления бесплатно, для скачивания их необходимо приобрести. Для просмотра материалов необходимо зарегистрироваться и авторизоваться на сайте.

Чтобы приобрести доступ к материалу для юридического лица, пожалуйста, свяжитесь с администрацией портала с помощью формы обратной связи либо по электронному адресу libnauka@naukaran.com.  

Действия с материалами доступны только авторизованным пользователям.