Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «ИССЛЕДОВАНИЕ ТЕКСТУРИРОВАННЫХ ПЛЕНОК НИТРИДА АЛЮМИНИЯ, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ ГАЗОФАЗНОГО ХИМИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ, "Микроэлектроника"»

Авторы:
  • Редькин А.Н.1
  • Рыжова М.В.2
  • Якимов Е.Е.3
  • Рощупкин Д.В.4
стр. 30-33
Платно
1 Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской академии наук, Черноголовка, 2 Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской академии наук, Черноголовка, 3 Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской академии наук, Черноголовка, 4 Учреждение Российской академии наук Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН, Черноголовка
  • В выпуске: №1, 2017, Том 46
  • В журнале: Микроэлектроника
  • Издательство: ФГУП «Издательство «Наука»
  • Рубрика ГРНТИ: Информатика. Информационные и вычислительные системы
  • Год выхода: 2017
Аннотация:
Текстурированные поликристаллические пленки нитрида алюминия на кремниевой подложке выращены методом газофазного химического осаждения с использованием в качестве исходных реагентов металлического алюминия и хлорида аммония. Хорошая текстура и кристаллическое качество полученных пленок подтверждены с помощью растровой электронной микроскопии, спектроскопии комбинационного рассеяния и рентгеновской дифракции.

Архивные статьи (2015 год и ранее) доступны для ознакомления бесплатно, для скачивания их необходимо приобрести. Для просмотра материалов необходимо зарегистрироваться и авторизоваться на сайте.

Чтобы приобрести доступ к материалу для юридического лица, пожалуйста, свяжитесь с администрацией портала с помощью формы обратной связи либо по электронному адресу libnauka@naukaran.com.  

Действия с материалами доступны только авторизованным пользователям.