Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «МЕТОД АНАЛИТИЧЕСКОЙ ОЦЕНКИ ГАЗОРАСПРЕДЕЛЕНИЯ ДЛЯ РЕАКТОРА С ИНДИВИДУАЛЬНОЙ ОБРАБОТКОЙ ПОДЛОЖЕК, "Электронная техника. Серия 3. Микроэлектроника"»

Авторы:
  • Евдокимов В.Л.1
  • Патюков С.И.2
стр. 23-30
Платно
1 АО «НИИМЭ», 2 АО «НИИМЭ»
Аннотация:
Рассмотрены условия формирования равномерного пограничного газового слоя и концентрации реагента у подложки при подаче из инжекторов газораспределительной головки в реакторе газофазного нанесения пленок. Предложены выражения для расчетов, сделаны оценки профиля скорости потока, толщины пограничного газового слоя у подложки и числа инжекторов в зависимости от геометрических характеристик устройства при субатмосферном нанесении слоев оксида кремния в режиме диффузионного ограничения подвода реагента.
Пожалуйста, авторизуйтесь, чтобы получить бесплатный доступ к статье.