Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «НИЗКОВОЛЬТНЫЕ ДИФФУЗИОННЫЕ Р-N-ПЕРЕХОДЫ В ТЕХНИКЕ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ, "Электронная техника. Серия 3. Микроэлектроника"»

Авторы:
  • Скорняков С.П.1
стр. 38-45
Платно
1 АО «НЗПП с ОКБ»
Аннотация:
Представлены результаты исследования низковольтных р-n-переходов с туннельным и смешанным механизмами пробоя, полученных на основе технологии высококонцентрационной диффузии мышьяка в сильнолегированный кремний р-типа проводимости в эвакуированном реакторе, заместившей технологию получения НВ р-n-переходов вплавлением алюминия в сильнолегированный кремний. На основе этих результатов проведены разработки промышленных технологий изготовления НВ планарных стабилитронов (НВС), прецизионных термокомпенсированных стабилитронов (ПТКС) и НВ ограничителей напряжения (НВОН), внедрённых в серийное производство.
Пожалуйста, авторизуйтесь, чтобы получить бесплатный доступ к статье.