Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «ВЛИЯНИЕ КОНСТРУКТИВНО-ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ БЕСПЕРЕХОДНОГО МОП-ТРАНЗИСТОРА СО СЛАБОЛЕГИРОВАННОЙ РАБОЧЕЙ ОБЛАСТЬЮ НА ОБЕДНЕНИЕ КАНАЛА ПРИБОРА, "Электронная техника. Серия 3. Микроэлектроника"»

Авторы:
  • Королев М.А.1
  • Красюков А.Ю.2
  • Чаплыгин Ю.А.3
стр. 55-65
Платно
1 Национальный исследовательский университет «МИЭТ», 2 Национальный исследовательский университет «МИЭТ», 3 Национальный исследовательский университет «МИЭТ»
Аннотация:
Представлен анализ развития МОП-транзисторов со встроенным каналом и показана перспективность приборов со слаболегированной рабочей областью. С использованием средств TCAD показано, что электрическое поле n+-n-перехода стока в зависимости от его расположения относительно края канала беспереходного МОП-транзистора со слаболегированной рабочей областью и глубины залегания существенно влияет на распределение потенциала и электронов в канале прибора.
Пожалуйста, авторизуйтесь, чтобы получить бесплатный доступ к статье.