Войти в личный кабинет
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти в личный кабинет
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «ИССЛЕДОВАНИЯ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ПОКРЫТИЙ МЕТОДАМИ ИК-СПЕКТРОСКОПИИ ФОНОННЫХ ПОЛЯРИТОНОВ, "Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования"»

Авторы:
  • Яковлев В.А.1
  • Виноградов Е.А.2
стр. 51-57
Платно
1 Институт нефтехимического синтеза им. А.В. Топчиева Российской академии наук, 2 Институт общей физики им. А.М . Прохорова РАН
Ключевые слова:
  • ИК-спектроскопия
  • поверхностный фонон-поляритон
  • нарушенное полное внутреннее отражение
  • тонкие пленки
  • нитрид алюминия
  • оксид магния
  • сапфир
  • infrared spectroscopy
  • surface polariton
  • attenuated total reflection spectrum
  • thin films
  • AlN
  • MgO
  • sapphire
Аннотация:
Методами колебательной спектроскопии в дальнем и ближнем поле исследовались тонкие (нанометровой толщины) пленки AlN и MgO на сапфире. Показано, что при образовании однослойных пленок AlN методом нитридизации сапфира частоты продольных оптических фононов пленки уменьшаются по сравнению с частотами фононов монокристалла, а частоты поперечных оптических фононов возрастают. Это свидетельствует о перестройке кристаллических структур и пленки, и поверхности сапфировой подложки. В переходном слое (на границе раздела) возникает твердый раствор (Al2O3)1-x(AlN)x переменного состава, параметры кристаллической ячейки AlN плавно изменяются. В случае эпитаксиального роста пленок MgO на сапфире, на начальном этапе, скорее всего, перестраивается только кристаллическая структура поверхности сапфира, поскольку частоты оптических фононов пленки не отличаются от частот фононов монокристаллов. При увеличении толщины пленки MgO в ней накапливаются растягивающие напряжения, изменяющие частоты оптических фононов.

Архивные статьи (2015 год и ранее) доступны для ознакомления бесплатно, для скачивания их необходимо приобрести.

Чтобы приобрести доступ к материалу для юридического лица, пожалуйста, свяжитесь с администрацией портала с помощью формы обратной связи либо по электронному адресу libnauka@naukaran.com.  

Действия с материалами доступны только авторизованным пользователям.  

 

* - цена актуальна только для физических лиц
В т.ч. НДС 20%