Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «ДВУХРАКУРСНАЯ ТОМОГРАФИЯ НИЗКОТЕМПЕРАТУРНОЙ ПЛАЗМЫ, "Микроэлектроника"»

Авторы:
  • Фадеев А.В.1
  • Руденко К.В.2
стр. 34-43
Платно
1 Физико-технологический институт Российской АН, 2 Физико-технологический институт РАН, Москва
  • В выпуске: №1, 2017, Том 46
  • В журнале: Микроэлектроника
  • Издательство: ФГУП «Издательство «Наука»
  • Рубрика ГРНТИ: Информатика. Информационные и вычислительные системы
  • Год выхода: 2017
Аннотация:
Эмиссионная томография является перспективным методом диагностики латеральной однородности компонентов плазмы. Однако технологические особенности реакторов микроэлектроники позволяют использовать строго лимитированное количество ракурсов, что пагубно сказывается на качестве реконструкции. Предложенная нами ранее модель локальных неоднородностей (МЛН) позволяет разрешить трудности диагностики латеральной однородности компонентов низкотемпературной плазмы при двухракурсной веерной схеме сканирования. В представленной работе модель дополнена учетом дополнительного фактора, влияющего на точность томографической реконструкции, а именно, - зависимость интенсивности излучения, которое регистрируется оптическим ракурсным датчиком, от расстояния до излучающей частицы плазмы. Учет проведен для томографической реконструкции методом максимума энтропии, являющимся для МЛН базовым.

Архивные статьи (2015 год и ранее) доступны для ознакомления бесплатно, для скачивания их необходимо приобрести. Для просмотра материалов необходимо зарегистрироваться и авторизоваться на сайте.

Чтобы приобрести доступ к материалу для юридического лица, пожалуйста, свяжитесь с администрацией портала с помощью формы обратной связи либо по электронному адресу libnauka@naukaran.com.  

Действия с материалами доступны только авторизованным пользователям.