Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «ХИМИКО-ДИНАМИЧЕСКОЕ ПОЛИРОВАНИЕ ПОВЕРХНОСТИ КРИСТАЛЛОВ НЕЛЕГИРОВАННОГО И ЛЕГИРОВАННОГО ZnSe РАСТВОРАМИ СИСТЕМЫ Н2О2 HBr Н2, "Неорганические материалы"»

Авторы:
  • Томашик В.Н.1
  • Кравцова А.С.2
  • Томашик З.Ф.3
  • Стратийчук И.Б.4
  • Галкин С.Н.5
стр. 1045-
Платно
1 Институт физики полупроводников им. В.Е. Лашкарева НАН Украины, Киев, 2 Институт физики полупроводников им. В.Е. Лашкарева Национальной академии наук Украины, Киев, 3 Институт физики полупроводников им. В.Е. Лашкарева НАН Украины, Киев, 4 Институт физики полупроводников им. В.Е. Лашкарева НАН Украины, Киев, 5 Институт сцинтилляционных материалов Национальной академии наук Украины, Харьков
Аннотация:
Исследовано химическое взаимодействие поверхности кристаллов нелегированного и легированного ZnSe с бромвыделяющими растворами системы Н2О2 HBr Н2. Изучены зависимости скорости растворения указанных полупроводниковых материалов от состава травителей, перемешивания и температуры, а также от их легирования. Определены концентрационные границы полирующих растворов и состояние поверхности после химического травления методом микроструктурного анализа. Разработаны и оптимизированы составы полирующих травителей и режимы химического полирования этих полупроводников.

Архивные статьи (2015 год и ранее) доступны для ознакомления бесплатно, для скачивания их необходимо приобрести. Для просмотра материалов необходимо зарегистрироваться и авторизоваться на сайте.

Чтобы приобрести доступ к материалу для юридического лица, пожалуйста, свяжитесь с администрацией портала с помощью формы обратной связи либо по электронному адресу libnauka@naukaran.com.  

Действия с материалами доступны только авторизованным пользователям.