Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «ОПРЕДЕЛЕНИЕ ТОЛЩИНЫ И ОПТИЧЕСКИХ ПОСТОЯННЫХ НАНОРАЗМЕРНЫХ ПЛЕНОК, ВЫРАЩЕННЫХ ТЕРМООКСИДИРОВАНИЕМ InP С МАГНЕТРОННО НАНЕСЕННЫМИ СЛОЯМИ ХЕМОСТИМУЛЯТОРОВ V2O5, V2O5 + PbO, NiO + PbO, "Неорганические материалы"»

Авторы:
  • Миттова И.Я.1
  • Швец В.А.2
  • Томина Е.В.3
  • Самсонов А.А.4
  • Сладкопевцев Б.В.5
  • Третьяков Н.Н.6
стр. 1037-
Платно
1 Воронежский государственный университет, 2 Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова СО Российской академии наук, Новосибирск, 3 Воронежский государственный университет, 4 Санкт-Петербургский государственный университет, 5 Воронежский государственный университет, 6 Воронежский государственный университет
Аннотация:
Методом спектральной эллипсометрии определены толщины и оптические свойства пленок, выращенных термооксидированием магнетронно сформированных структур V2O5/InP, (NiO + PbO)/InP и (V2O5 + PbO)/InP. Показано, что исследуемые структуры имеют резкие границы раздела и их оптические постоянные в длинноволновой области хорошо описываются моделью Коши с нормальным законом дисперсии, что позволяет с высокой точностью определять толщину таких наноразмерных пленок экспресс-эллипсометрической диагностикой на одноволновом лазерном эллипсометре.

Архивные статьи (2015 год и ранее) доступны для ознакомления бесплатно, для скачивания их необходимо приобрести. Для просмотра материалов необходимо зарегистрироваться и авторизоваться на сайте.

Чтобы приобрести доступ к материалу для юридического лица, пожалуйста, свяжитесь с администрацией портала с помощью формы обратной связи либо по электронному адресу libnauka@naukaran.com.  

Действия с материалами доступны только авторизованным пользователям.