Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «Формирование нанокристаллов кремния в многослойных нанопериодических структурах a -SiOx /диэлектрик по результатам синхротронных исследований, "Физика и техника полупроводников"»

Авторы:
  • Турищев С.Ю.1
  • Терехов В.А.2
  • Коюда Д.А.3
  • Ершов А.В.4
  • Машин А.И.5
  • Паринова Е.В.6
  • Нестеров Д.Н.7
  • Грачев Д.А.8
  • Карабанова И.А.9
  • Домашевская Э.П.10
стр. 363-366
Платно
1 Воронежский государственный университет, 2 Воронежский государственный университет, 394006 Воронеж, Россия, 3 Воронежский государственный университет, 4 Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского, Нижний Новгород, Россия, 5 Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского, 603950 Нижний Новгород, Россия, 6 Воронежский государственный университет, 394006 Воронеж, Россия, 7 Воронежский государственный университет, 8 Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского, 9 Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского, 10 Воронежский государственный университет
Аннотация:
Изучен вопрос эффективности контролируемого формирования массивов кремниевых наночастиц на основе детальных исследований электронного строения многослойных нанопериодических структур a -SiOx /SiO2, a -SiOx /Al2O3 и a -SiOx /ZrO2. С применением синхротронного метода спектроскопии ближней тонкой структуры края рентгеновского поглощения обнаружена модификация исследованных структур под влиянием высокотемпературного отжига при максимальной температуре 1100?C, объясняемая образованием нанокристаллов кремния в слоях светоизлучающих многослойных структур.

Архивные статьи (2015 год и ранее) доступны для ознакомления бесплатно, для скачивания их необходимо приобрести. Для просмотра материалов необходимо зарегистрироваться и авторизоваться на сайте.

Чтобы приобрести доступ к материалу для юридического лица, пожалуйста, свяжитесь с администрацией портала с помощью формы обратной связи либо по электронному адресу libnauka@naukaran.com.  

Действия с материалами доступны только авторизованным пользователям.