Статья «Многослойные фоточувствительные структуры на основе пористого кремния и соединений редкоземельных элементов: исследования спектральных характеристик, "Физика и техника полупроводников"»

Исследованы спектральные характеристики коэффициента зеркального отражения, фоточувствительности и фотолюминесценции многослойных структур на основе пористого кремния с ионами редкоземельных элементов. Показано, что фоточувствительность таких структур в диапазоне длин волн 0.4 1.0 мкм повышена по сравнению со структурами без редкоземельных элементов. Структуры с ионами Er3+ проявляют люминесцентные свойства при комнатной температуре в спектральном диапазоне от 1.1 до 1.7 мкм. Спектр фотолюминесценции эрбиевой примеси представлен тонкой структурой линий, отражающих структуру расщепления мультиплета 4 I 15/2 иона Er3+. Показано, что структуры с пористым слоем на рабочей поверхности имеют значительно более низкий коэффициент отражения во всем измеряемом спектральном диапазоне 0.2-1.0 мкм.