Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «АВТОМАТИЗИРОВАННАЯ УСТАНОВКА ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК МЕТОДОМ ИОННОГО НАСЛАИВАНИЯ, "Приборы и техника эксперимента"»

Авторы:
  • Андронов А.О.1
  • Матюшкин Л. Б.2
  • Хондрюков Д. В.3
  • Александрова А. О.4
  • Мошников В.А.5
стр. 115-118
Платно
1 Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет „ЛЭТИ", 2 Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» им. В. И. Ульянова (Ленина), 3 Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет “ЛЭТИ” им. В.И. Ульянова (Ленина), 4 Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет “ЛЭТИ” им. В.И. Ульянова (Ленина), 5 ФГБОУ ВПО Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет им. В.И. Ульянова (Ленина)
Аннотация:
Представлена автоматизированная установка, позволяющая методом ионного наслаивания получать тонкопленочные покрытия. Основные конструктивные и технико-эксплуатационные параметры: точность позиционирования образца по отношению к границе фаз 10 мкм, скорость подложки в растворе 0.5-3 мм/с, температурный диапазон 25-90°C. Установка апробирована при получении тонких пленок сульфида кадмия из водно-спиртовых растворов. Получившиеся образцы имеют плотную однородную поверхность, толщину от 1.3 до 25.5 нм (в зависимости от количества циклов наслаивания) и ширину энергетической щели 2.3-2.5 эВ.

Архивные статьи (2015 год и ранее) доступны для ознакомления бесплатно, для скачивания их необходимо приобрести. Для просмотра материалов необходимо зарегистрироваться и авторизоваться на сайте.

Чтобы приобрести доступ к материалу для юридического лица, пожалуйста, свяжитесь с администрацией портала с помощью формы обратной связи либо по электронному адресу libnauka@naukaran.com.  

Действия с материалами доступны только авторизованным пользователям.