Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «МОДЕЛИРОВАНИЕ РАСПЫЛЕНИЯ ВТОРИЧНО ОСАЖДЕННОГО КРЕМНИЯ ПРИ ВОЗДЕЙСТВИИ ФОКУСИРОВАННЫМ ИОННЫМ ПУЧКОМ, "Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования"»

Авторы:
  • Румянцев А. В.1
  • Боргардт Н.И.2
  • Волков Р.Л.3
стр. 102-107
Платно
1 Национальный исследовательский университет "МИЭТ", 2 Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования “Национальный исследовательский университет “МИЭТ”, 3 Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования “Национальный исследовательский университет “МИЭТ”
Ключевые слова:
  • фокусированный ионный пучок
  • распыление материалов ионным пучком
  • моделирование взаимодействия ионов с веществом
  • focused ion beam
  • ion beam sputtering
  • simulation of ion-solid interactions
Аннотация:
С использованием различных моделей поверхностной энергии связи атомов кремния и галлия выполнено моделирование методом Монте-Карло процессов распыления переосажденного и кристаллического кремния при воздействии фокусированного пучка ионов галлия. Значения коэффициентов распыления и профили распределения атомов галлия в образце, вычисленные для различных энергий ионов, сравнивались с экспериментальными данными. Установлено, что наилучшее согласие с совокупностью этих данных позволяет достичь введенная модель поверхностной энергии связи атомов Si и Ga, учитывающая образование преципитатов галлия в приповерхностной области образца.

Архивные статьи (2015 год и ранее) доступны для ознакомления бесплатно, для скачивания их необходимо приобрести. Для просмотра материалов необходимо зарегистрироваться и авторизоваться на сайте.

Чтобы приобрести доступ к материалу для юридического лица, пожалуйста, свяжитесь с администрацией портала с помощью формы обратной связи либо по электронному адресу libnauka@naukaran.com.  

Действия с материалами доступны только авторизованным пользователям.  

 

* - цена актуальна только для физических лиц
В т.ч. НДС 20%