Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «ВЛИЯНИЕ КРИСТАЛЛОГРАФИЧЕСКОЙ ОРИЕНТАЦИИ ПОДЛОЖКИ НА ЗАРОЖДЕНИЕ, ФОРМУ И РАЗВИТИЕ ПОР В КРЕМНИИ ПРИ ЕГО ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКОМ ТРАВЛЕНИИ В РАСТВОРАХ ФТОРИСТОВОДОРОДНОЙ КИСЛОТЫ, "Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования"»

Авторы:
  • Абрамова Е.Н.1
  • Сыров Ю.В.2
  • Хорт А.М.3
  • Яковенко А.Г.4
  • Прохоров Д.И.5
стр. 93-97
Платно
1 Московский государственный университет тонких химических технологий им. М.В. Ломоносова, 2 Московский технологический университет. Институт тонких химических технологий, Россия, 119571 Москва, В-571, пр. Вернадского, 86, 3 Московский государственный университет тонких химических технологий им. М.В. Ломоносова, 4 Московский государственный университет тонких химических технологий им. М.В. Ломоносова, 5 Московский государственный университет тонких химических технологий им. М.В. Ломоносова
Ключевые слова:
  • электрохимическое травление
  • пористый кремний
  • зарождение пор
  • ориентация пор
  • травящий ион
  • симметрия кристаллической решетки
  • electrochemical etching
  • porous silicon
  • pore initiation
  • pore orientation
  • etching ion
  • lattice symmetry
Аннотация:
Установлено влияние кристаллографической ориентации подложки монокристаллического кремния на зарождение, форму и развитие пор в Si в процессе его электрохимического травления. Показано, что на форму, пространственную ориентацию и зарождение пор в кремнии влияют как свойства раствора травителя, обусловленные строением травящего иона, так и симметрия решетки Si.

Архивные статьи (2015 год и ранее) доступны для ознакомления бесплатно, для скачивания их необходимо приобрести. Для просмотра материалов необходимо зарегистрироваться и авторизоваться на сайте.

Чтобы приобрести доступ к материалу для юридического лица, пожалуйста, свяжитесь с администрацией портала с помощью формы обратной связи либо по электронному адресу libnauka@naukaran.com.  

Действия с материалами доступны только авторизованным пользователям.  

 

* - цена актуальна только для физических лиц
В т.ч. НДС 20%