Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «ВЛИЯНИЕ ИМПЛАНТАЦИИ ИОНОВ ZN+ НА ПРОЦЕСС ЗАРЯДКИ САПФИРА ЭЛЕКТРОННЫМ ПУЧКОМ, "Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования"»

Авторы:
  • Татаринцев А.А.1
  • Привезенцев В.В.2
  • Рау Э.И.3
  • Горячев А.В.4
стр. 47-51
Платно
1 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт проблем технологий микроэлектроники и особочистых материалов Российской академии наук, Черноголовка, 2 Бюджетное учреждение науки Физико-технологический институт Российской академии наук, Moсква, 3 Физический факультет Московского Государственного университета имени М.В. Ломоносова, Москва, 4 Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования Национальный исследовательский университет “Московский институт электронной техники”.
Ключевые слова:
  • зарядка сапфира
  • электронное облучение
  • ионное облучение
  • имплантация ионов Zn+
  • поверхностный потенциал
  • charging of sapphire
  • electron irradiation
  • ion irradiation
  • implantation of Zn ions
  • surface potential
Аннотация:
Рассмотрено влияние имплантированных в монокристалл сапфира ионов Zn на кинетику достижения равновесного состояния поверхностного потенциала и токовых характеристик. С целью рассмотрения влияния состояния поверхности на процесс зарядки диэлектрика один из образцов был отожжен в атмосфере кислорода для образования ZnO на поверхности. Полученные результаты показывают существенное увеличение скорости достижения равновесного потенциала поверхности после ионной имплантации. Для понимания полученных результатов была измерена зависимость концентрации легирующей примеси по глубине кристалла. Обсуждаются возможные механизмы, влияющие на изменение кинетики достижения потенциала.

Архивные статьи (2015 год и ранее) доступны для ознакомления бесплатно, для скачивания их необходимо приобрести. Для просмотра материалов необходимо зарегистрироваться и авторизоваться на сайте.

Чтобы приобрести доступ к материалу для юридического лица, пожалуйста, свяжитесь с администрацией портала с помощью формы обратной связи либо по электронному адресу libnauka@naukaran.com.  

Действия с материалами доступны только авторизованным пользователям.  

 

* - цена актуальна только для физических лиц
В т.ч. НДС 20%