Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «ТЕСТ-ОБЪЕКТ ДЛЯ КАЛИБРОВКИ РЭМ. 1. МЕТОДЫ КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА ИЗГОТОВЛЕНИЯ, "Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования"»

Авторы:
  • Новиков Ю.А.1
стр. 77-81
Платно
1 Институт общей физики им. А.М. Прохорова РАН, Москва, Россия
Ключевые слова:
  • тест-объект
  • качество тест-объекта
  • растровый электронный микроскоп
  • РЭМ
  • калибровка
  • корреляция
  • test оbject
  • quality о! test оbject
  • scanning electron microscope
  • SEM
  • calibratfon
  • correlatfon
Аннотация:
Проведены исследования качества изготовления тест-объекта, предназначенного для калибровки растрового электронного микроскопа. Тест-объект выполнен из кремния и состоит из рельефных шаговых структур с номинальным размером шага 2000 нм. Все элементы рельефа (выступы и канавки) имеют трапециевидный профиль с большими углами наклона боковых стенок. Плоскости боковых стенок совпадают с кристаллографическими плоскостями {111} кремния, а плоскости вершины выступов и дна канавок совпадают с кристаллографическими плоскостями {100}. Рассмотрены несколько методов контроля качества изготовления тест-объекта: визуальный контроль дефектов поверхности, использование сколов рельефа, получение изображения в просвечивающем электронном микроскопе. Ни один из них не дает возможности определить качество изготовления конкретного тест-объекта и его отдельных элементов.

Архивные статьи (2015 год и ранее) доступны для ознакомления бесплатно, для скачивания их необходимо приобрести. Для просмотра материалов необходимо зарегистрироваться и авторизоваться на сайте.

Чтобы приобрести доступ к материалу для юридического лица, пожалуйста, свяжитесь с администрацией портала с помощью формы обратной связи либо по электронному адресу libnauka@naukaran.com.  

Действия с материалами доступны только авторизованным пользователям.