Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «СРАВНИТЕЛЬНЫЙ АНАЛИЗ МЕТОДОВ ИЗМЕРЕНИЯ ПОТЕНЦИАЛОВ ЗАРЯДКИ ДИЭЛЕКТРИКОВ ПРИ ЭЛЕКТРОННОМ ОБЛУЧЕНИИ В СКАНИРУЮЩЕМ ЭЛЕКТРОННОМ МИКРОСКОПЕ, "Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования"»

Авторы:
  • Рау Э.И.1
  • Татаринцев А.А.2
  • Купреенко С.Ю.3
  • Зайцев С.В.4
  • Подбуцкий Н. Г.5
стр. 69-76
Платно
1 Физический факультет Московского Государственного университета имени М.В. Ломоносова, Москва, 2 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт проблем технологий микроэлектроники и особочистых материалов Российской академии наук, Черноголовка, 3 Физический факультет МГУ имени М.В. Ломоносова, 4 Физический факультет МГУ имени М.В. Ломоносова, 5 Московский государственный университет им. М. В. Ломоносова
Ключевые слова:
  • зарядка диэлектриков
  • электронное облучение
  • сканирующая электронная микроскопия
  • dielectrics charging
  • electron beam irradiation
  • scanning electron microscopy
Аннотация:
Проведен краткий критический анализ возможных методов измерения потенциалов поверхности диэлектрических мишеней при их облучении электронами средних энергий в сканирующем электронном микроскопе. Показаны преимущества изучения кинетики зарядки при помощи регистрации сдвига всего энергетического спектра эмиттированных электронов. Предложено два новых способа оценки зарядовых потенциалов: по сигналам катодолюминесценции и отраженных электронов. Установлено, что полная отраженная энергия электронов от заряженных диэлектрических мишеней многократно (в разы) превосходит энергию электронов, отраженных от незаряженного диэлектрика.

Архивные статьи (2015 год и ранее) доступны для ознакомления бесплатно, для скачивания их необходимо приобрести. Для просмотра материалов необходимо зарегистрироваться и авторизоваться на сайте.

Чтобы приобрести доступ к материалу для юридического лица, пожалуйста, свяжитесь с администрацией портала с помощью формы обратной связи либо по электронному адресу libnauka@naukaran.com.  

Действия с материалами доступны только авторизованным пользователям.