Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «ЭМИССИОННАЯ ТЕОРИЯ РАСПЫЛЕНИЯ АМОРФНЫХ МАТЕРИАЛОВ. ЭНЕРГЕТИЧЕСКИЕ ЗАВИСИМОСТИ КОЭФФИЦИЕНТА РАСПЫЛЕНИЯ, "Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования"»

Авторы:
  • Пустовит А.Н.1
стр. 77-85
Платно
1 Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН Россия, 142432, Черноголовка Московской обл., ул. Академика Осипьяна, 6
Ключевые слова:
  • теория распыления ионами
  • аморфные твердые тела
  • нормальное падение первичного пучка
  • пороговые энергии
  • глубины выхода вторичных атомов
  • sputtering process
  • amorphous materials
  • sputtering coefficient
  • secondary particles emission
Аннотация:
Проведен анализ условий применения кинетического уравнения Больцмана для описания процесса распыления. Установлено, что из-за малости глубины выхода вторичных частиц использование кинетического уравнения для расчета коэффициента распыления является спорным. Предложена физическая модель эмиссионной теории распыления аморфных материалов. В рамках разработанной модели для аморфных материалов выполнены расчеты пороговых энергий распыления и энергетические зависимости коэффициента распыления для нормального падения первичных ионов в диапазоне энергий 10-105 эВ. Результаты расчетов находятся в согласии с экспериментальными данными.

Архивные статьи (2015 год и ранее) доступны для ознакомления бесплатно, для скачивания их необходимо приобрести. Для просмотра материалов необходимо зарегистрироваться и авторизоваться на сайте.

Чтобы приобрести доступ к материалу для юридического лица, пожалуйста, свяжитесь с администрацией портала с помощью формы обратной связи либо по электронному адресу libnauka@naukaran.com.  

Действия с материалами доступны только авторизованным пользователям.