Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «Прецизионная калибровка уровня легирования кремнием эпитаксиальных слоев арсенида галлия 87, "Письма в Журнал технической физики"»

Авторы:
  • Мохов Д.В.1
  • Березовская Т.Н.2
  • Кузьменков А.Г.3
  • Малеев Н.А.4
  • Тимошнев С.Н.5
  • Устинов В. М.6
стр. 87-94
Платно
1 Санкт-Петербургский национальный исследовательский академический университет РАН, 2 Санкт-Петербургский национальный исследовательский академический университет РАН, 3 Всероссийский научно-исследовательский институт радиологии и агроэкологии, Обнинск, 4 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН; Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет ,ЛЭТИ“, 5 Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе Российской академии наук, 6 Физико-технический институт им. Иоффе РАН
Аннотация:
Рассмотрен подход к обеспечению прецизионной калибровки уровня легирования кремнием эпитаксиальных слоев арсенида галлия, основанный на исследовании зависимости концентрации носителей заряда в тестовом слое GaAs от температуры источника кремния методами на основе эффекта Холла и CV-профилирования. Для измерений параметров используются стандартные или аттестованные методики измерений и средства измерений утвержденного типа. Показано, что использование метода CV-профилирования для контроля концентрации носителей заряда в тестовом слое GaAs при тщательной оптимизации измерительной процедуры обеспечивает наивысшую точность и достоверность калибровки уровня легирования эпитаксиальных слоев с относительной погрешностью не более 2.5%.

Архивные статьи (2015 год и ранее) доступны для ознакомления бесплатно, для скачивания их необходимо приобрести. Для просмотра материалов необходимо зарегистрироваться и авторизоваться на сайте.

Чтобы приобрести доступ к материалу для юридического лица, пожалуйста, свяжитесь с администрацией портала с помощью формы обратной связи либо по электронному адресу libnauka@naukaran.com.  

Действия с материалами доступны только авторизованным пользователям.