Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «Рентгеновская рефлектометрия и фотоэлектронная спектроскопия сверхрешеток с нанокристаллами кремния, "Письма в Журнал экспериментальной и теоретической физики"»

Авторы:
  • Жигунов Д.М.1
  • Каменских И.А.2
  • Лебедев А.М.3
  • Чумаков Р.Г.4
  • Логачев Ю.А.5
  • Якунин С.Н.6
  • Кашкаров П.К.7
стр. 496-501
Платно
1 Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, 2 Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, 3 Федеральное государственное бюджетное учреждение Национальный исследовательский центр “Курчатовский институт” (ФГБУ НИЦ “Курчатовский институт”), Москва., 4 Федеральное государственное бюджетное учреждение Национальный исследовательский центр “Курчатовский институт” (ФГБУ НИЦ “Курчатовский институт”), Москва., 5 Московский государственный университет им. М. В. Ломоносова, 6 Институт кристаллографии РАН, Москва, Россия, 7 Национальный исследовательский центр “Курчатовский институт”, Москва, Россия
Аннотация:
В работе исследованы структурные свойства и особенности химического состава многослойных тонких пленок SiOxNy/SiO2, SiOxNy/Si3N4 и SiNx/Si3N4 с ультратонкими (1-1.5 нм) барьерными слоями SiO2 или Si3N4. Пленки были получены методом плазмохимического осаждения из газовой фазы и отожжены при температуре 1150 °С для формирования нанокристаллов кремния в обогащенных кремнием слоях SiOxNy или SiNx номинальной толщиной 5нм. Период сверхрешеток в исследуемых образцах был оценен методом рентгеновской рефлектометрии. Фазовый состав сверхрешеток был исследован методом рентгеноэлектронной спектроскопии с использованием разложения фотоэлектронных спектров Si 2р-, N Is- и О ls-уровней на компоненты, соответствующие различным зарядовым состояниям атомов.

Архивные статьи (2015 год и ранее) доступны для ознакомления бесплатно, для скачивания их необходимо приобрести. Для просмотра материалов необходимо зарегистрироваться и авторизоваться на сайте.

Чтобы приобрести доступ к материалу для юридического лица, пожалуйста, свяжитесь с администрацией портала с помощью формы обратной связи либо по электронному адресу libnauka@naukaran.com.  

Действия с материалами доступны только авторизованным пользователям.