Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «Определение оптических констант двухосно-анизотропной пленкиметодом стандартной многоугловой монохроматической эллипсометрии, "Оптика и спектроскопия"»

Авторы:
  • Сопинский Н. В.1
стр. 764-769
Платно
1 Институт физики полупроводников им. В.Е. Лашкарёва НАН Украины
Аннотация:
Изучены возможности метода стандартной многоугловой монохроматической эллипсометрии в определении параметров однородного двухосно-анизотропного слоя для случая произвольной ориентации двух главных осей в плоскости падения светового луча и перпендикулярности третьей осик плоскости падения. Методом численного моделирования установлено, что для определения всех трех главных компонентов тензора диэлектрической проницаемости ? и угла наклона осей при использовании одних лишь угловых зависимостей эллипсометрических параметров необходимо обеспечить точность измерения не хуже 0.0001°, которая находится далеко за пределами точности, обеспечиваемой современными эллипсометрами. При известном угле наклона метод стандартной многоугловой монохроматической эллипсометрии обеспечивает определение толщины и всех трехглавных компонент тензора диэлектрической проницаемости. Без привлечения данных об угле на-клона осей этот метод позволяет определить толщину слоя, компоненту тензора для оси, перпендикулярной плоскости падения, а также среднее значение компонентов для осей, лежащих в плоскости падения. Это продемонстрировано на примере экспериментальных данных для двухосно-анизотропных пленок SiOx, получаемых наклонным осаждением испаренной в вакууме моноокисикремния SiO

Архивные статьи (2015 год и ранее) доступны для ознакомления бесплатно, для скачивания их необходимо приобрести. Для просмотра материалов необходимо зарегистрироваться и авторизоваться на сайте.

Чтобы приобрести доступ к материалу для юридического лица, пожалуйста, свяжитесь с администрацией портала с помощью формы обратной связи либо по электронному адресу libnauka@naukaran.com.  

Действия с материалами доступны только авторизованным пользователям.